真空閥門是指在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。真空閥門關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。電磁真空帶充氣閥與電磁真空壓差閥是專門用于防止機械真空泵返油的真空閥，安裝于機械真空泵的進氣口，并與泵同步開啟和關(guān)閉。

真空閥門的性能特點：

一.壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。

二.真空閥門基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)與墊片材料的致密性。

介質(zhì)壓力：

1.低真空閥門：介質(zhì)壓力p=760~1毫米汞柱；

2.中真空閥門：p=1×10-3 毫米汞柱。

3.高真空閥門：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱；

4.超高真空閥門：p≤1×10-8 毫米汞柱。

三.結(jié)構(gòu)特點

1.密封結(jié)構(gòu)設(shè)計獨特，漏率可達到<1×10-10Pa.M3/S,改變了球閥不能滿足高真空、超高真空的現(xiàn)狀;

2.開關(guān)扭矩小，配置電動執(zhí)行器小，工作穩(wěn)定、可靠;

3.結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，外形簡潔、美觀;

4.該閥既能適用高真空，又能適用一定的正壓力下使用;

5.由于球閥全通導(dǎo)，又能達到超高真空要求，所以也能適用于加速器真空系統(tǒng)。