真空閥門在半導(dǎo)體加工設(shè)備中扮演著重要的角色。半導(dǎo)體制造是一個(gè)Jing密且對(duì)環(huán)境潔凈度及控制要求極高的過(guò)程，其中很多關(guān)鍵步驟需要在真空環(huán)境下進(jìn)行，例如沉積（Deposition, 如物理的氣相沉積PVD或化學(xué)氣相沉積CVD）、蝕刻（Etching）、擴(kuò)散（Diffusion）、快速熱處理（Rapid Thermal Processing, RTP）以及去膠（Strip）等工藝。

真空閥門是構(gòu)成這些設(shè)備真空系統(tǒng)的重要組成部分，它們負(fù)責(zé)：

隔離與連接：真空閥門能夠根據(jù)工藝流程需求打開或關(guān)閉真空管道，使得不同的工藝腔室可以相互獨(dú)立操作，同時(shí)也能在特定時(shí)刻實(shí)現(xiàn)腔室之間的有效連通。

壓力調(diào)節(jié)與控制：通過(guò)jing確控制真空閥門的開關(guān)時(shí)間和開口大小，實(shí)現(xiàn)對(duì)腔室內(nèi)真空度和氣體壓力的jing細(xì)調(diào)整，這對(duì)于工藝參數(shù)控制至關(guān)重要。

防止污染：由于半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)雜質(zhì)容忍度極低，因此真空閥門需具備良好的密封性能以阻止大氣及其他污染物進(jìn)入高純度的工作環(huán)境中。

An全性保障：當(dāng)發(fā)生異常情況時(shí)，真空閥門能夠迅速關(guān)閉以保護(hù)設(shè)備、人員an全，并維持工藝環(huán)境穩(wěn)定。

低振動(dòng)特性：某些半導(dǎo)體真空閥門設(shè)計(jì)有低振動(dòng)特點(diǎn)，能減少工作過(guò)程中產(chǎn)生的微小振動(dòng)對(duì)微觀結(jié)構(gòu)形成的影響，保證產(chǎn)品品質(zhì)。

所以，半導(dǎo)體加工設(shè)備中的真空閥門不僅是構(gòu)建真空環(huán)境的基礎(chǔ)元件，同時(shí)也是確保整個(gè)芯片生產(chǎn)工藝成功進(jìn)行的關(guān)鍵部件之一。